微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
| 微机电系统工程 |
专业代码：80210
主干学科：机械学
修业年限：四年
授予学位：工学学士
主要课程
实践环节
专业排名
双一流
国家特色
院校特色
国家重点
拔尖专业
卓越计划
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双一流
国家特色
院校特色
国家重点
拔尖专业
卓越计划
| 开设院校 | 全国排名 | 专业等级 | 学科实力 |
| 清华大学 | 1 | A+ |
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| 北京航空航天大学（国际合作专项） | 2 | A- |
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| 北京航空航天大学 | 2 | A- |
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| 西北工业大学 | 3 | B+ |
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| 东莞理工学院 | 4 |
