微机电工程材料、微机电器件与系统、微机械学、微纳米测量与测试技术、微细加工技术、现代传感技术、精密工程制造基础和光存储技术等。
| 微机电系统工程 |
专业代码：80210
主干学科：机械学
修业年限：四年
授予学位：工学学士
主要课程
实践环节
专业排名
硕士点
博士点
博士后
国家重点
院校特色
国家基地班
双一流
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全国排名：该数据是10年前的大学专业排名，仅供参考，不作绝对。很多学校的很多专业已经不开设或者不招生，故排名可能不完整。
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双一流
| 开设院校 | 全国排名 | 专业等级 | 学科实力 |
| 清华大学 |
